Influence of deposition parameteres on the structural and optical properties of the SiNx films prepared by PECVD method
9th Nanoscience and Nanotechnology Conference (NanoTR-9), Erzurum, Türkiye, 24 - 28 Haziran 2013, ss.111, (Özet Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
- Basıldığı Şehir: Erzurum
- Basıldığı Ülke: Türkiye
- Sayfa Sayıları: ss.111
- Recep Tayyip Erdoğan Üniversitesi Adresli: Evet