Influence of deposition parameteres on the structural and optical properties of the SiNx films prepared by PECVD method

TUĞAY E., Aydınlı A., TURAN R.

9th Nanoscience and Nanotechnology Conference (NanoTR-9), Erzurum, Türkiye, 24 - 28 Haziran 2013, ss.111, (Özet Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Erzurum
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.111
  • Recep Tayyip Erdoğan Üniversitesi Adresli: Evet